[实用新型]硅芯切割机工件固定装置有效
申请号: | 201120252693.5 | 申请日: | 2011-07-18 |
公开(公告)号: | CN202192692U | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 陈屹立;张晖;傅明锋;宋亚尼 | 申请(专利权)人: | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吴彦峰 |
地址: | 614200 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅芯切割机工件固定装置,包括装夹在工件外部的中间支撑套、以及放置于工件底部的工件托盘,所述中间支撑套具有锁紧后不小于工件直径的内径,所述工件托盘具有大于工件直径的底板,所述中间支撑套上设有锁紧装置;本实用新型是一种用于方硅芯切割机固定工件的装置,采用该装置,减小了方硅芯切割过程中线网与工件摆动,同时可固定加工后的方硅芯,避免了加工过程与卸载过程中方硅芯掉落损耗。 | ||
搜索关键词: | 切割机 工件 固定 装置 | ||
【主权项】:
一种硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:包括装夹在工件(1)外部的中间支撑套(2)、以及放置于工件底部的工件托盘(3),所述中间支撑套具有锁紧后不小于工件直径的内径,所述工件托盘具有大于工件直径的底板,所述中间支撑套上设有锁紧装置。
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