[实用新型]硅芯切割机工件固定装置有效
| 申请号: | 201120252693.5 | 申请日: | 2011-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN202192692U | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
| 发明(设计)人: | 陈屹立;张晖;傅明锋;宋亚尼 | 申请(专利权)人: | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吴彦峰 |
| 地址: | 614200 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 切割机 工件 固定 装置 | ||
1.一种硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:包括装夹在工件(1)外部的中间支撑套(2)、以及放置于工件底部的工件托盘(3),所述中间支撑套具有锁紧后不小于工件直径的内径,所述工件托盘具有大于工件直径的底板,所述中间支撑套上设有锁紧装置。
2.如权利要求1所述的硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:所述锁紧装置为调节螺丝(4)。
3.如权利要求1所述的硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:所述中间支撑套由两个半圆套组成。
4.如权利要求1所述的硅芯切割机工件固定装置,其特征在于:所述工件托盘包括底板支架(5)、侧面的支架侧面支撑板(6)、以及底部的底板(7)。
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