[实用新型]一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置有效
| 申请号： | 201120245224.0 | 申请日： | 2011-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202131395U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 成文辉 | 申请（专利权）人： | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，包括盛装需添加掺杂剂的装料器、将装料器固定在籽晶夹头上的固定件和通过撞击重锤带动装料器晃动并使需添加掺杂剂自动加入石英坩埚内的撞击装置，籽晶夹头固定在重锤正下方，重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，固定件固定安装在籽晶夹头上且装料器固定安装在固定件上，撞击装置位于重锤外侧。本实用新型结构简单、设计合理、加工制作及安装方便且使用操作简便、使用效果好，能简便、快速且高质量地完成掺杂剂的自动加入过程，并有效解决现有单晶炉存在的掺杂剂加入不便、花费时间长、影响单晶硅生产效率、易出现因掺杂剂加入量不足而导致单晶电阻率准确性受影响等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉法 生产 单晶硅 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：包括用于盛装需添加掺杂剂(1)的装料器、将所述装料器固定在籽晶夹头(2)上的固定件和通过撞击重锤(4)带动所述装料器晃动并使得需添加掺杂剂(1)自动加入石英坩埚(5)内的撞击装置，所述籽晶夹头(2)固定在重锤(4)正下方，所述重锤(4)通过拉绳(9)悬吊在位于单晶炉副炉室(3)上方的提拉机构上，所述固定件固定安装在籽晶夹头(2)上且所述装料器固定安装在所述固定件上，所述撞击装置位于重锤(4)外侧。
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