[实用新型]一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置

权利要求书

1.一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：包括用于盛装需添加掺杂剂(1)的装料器、将所述装料器固定在籽晶夹头(2)上的固定件和通过撞击重锤(4)带动所述装料器晃动并使得需添加掺杂剂(1)自动加入石英坩埚(5)内的撞击装置，所述籽晶夹头(2)固定在重锤(4)正下方，所述重锤(4)通过拉绳(9)悬吊在位于单晶炉副炉室(3)上方的提拉机构上，所述固定件固定安装在籽晶夹头(2)上且所述装料器固定安装在所述固定件上，所述撞击装置位于重锤(4)外侧。

2.按照权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述撞击装置为布设在翻板箱(6)内的翻板阀(7)，所述翻板箱(6)布设在单晶炉副炉室(3)与单晶炉主炉室(10)之间，所述单晶炉主炉室(10)位于单晶炉副炉室(3)正下方。

3.按照权利要求1或2所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述装料器为缠绕固定在籽晶夹头(2)上的金属套圈(8-1)。

4.按照权利要求3所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述金属套圈(8-1)为由一根金属丝弯曲而成的圆形套圈。

5.按照权利要求4所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述固定件为由一根金属丝弯曲形成且呈水平向布设的金属叉(8-2)。

6.按照权利要求5所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述金属叉与所述圆形套圈固定连接为一体。

7.按照权利要求6所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述金属叉与所述圆形套圈由同一根金属丝弯曲而成。

8.按照权利要求7所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述金属叉与所述圆形套圈由同一根钼丝弯曲而成。

9.按照权利要求3所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述金属套圈(8-1)套装在籽晶夹头(2)上部，且金属套圈(8-1)呈水平向布设。

10.按照权利要求9所述的一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置，其特征在于：所述籽晶夹头(2)上部对应设置有用于挂装金属套圈(8-1)的圆形槽。