[实用新型]一种管芯硅片真空夹具

摘要

本实用新型公开了一种管芯硅片真空夹具，包括夹具体和夹座，夹座上穿接有夹具体，所述夹具体外表面上设有台阶，台阶下的夹具体外表面上套有弹簧，弹簧下方的夹具体底部固定连接有吸头，夹具体和吸头内贯通有真空通气道，真空通气道末端连有活塞。本实用新型通过真空吸力吸附工件，并旋转带动工件磨削，解决了现有管芯硅片通过人工手指夹钳进行磨削，人工夹钳不易夹紧工件，使生产出的产品的准确度和稳定性降低，且人工手指夹钳管芯硅片无法保证硅片整个圆周的磨削程度一致，使产品的误差值增大的问题。

主权项

一种管芯硅片真空夹具，包括夹具体（1）和夹座（2），夹座（2）上穿接有夹具体（1），其特征是，所述夹具体（1）外表面上设有台阶，台阶下的夹具体（1）外表面上套有弹簧（4），弹簧（4）下方的夹具体（1）底部固定连接有吸头（3），夹具体（1）和吸头（3）内贯通有真空通气道（5），真空通气道（5）末端连有活塞（6）。