[实用新型]一种管芯硅片真空夹具

权利要求书

1. 一种管芯硅片真空夹具，包括夹具体（1）和夹座（2），夹座（2）上穿接有夹具体（1），其特征是，所述夹具体（1）外表面上设有台阶，台阶下的夹具体（1）外表面上套有弹簧（4），弹簧（4）下方的夹具体（1）底部固定连接有吸头（3），夹具体（1）和吸头（3）内贯通有真空通气道（5），真空通气道（5）末端连有活塞（6）。

2. 根据权利要求1所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述夹具体（1）底端的外表面具有螺纹，吸头（3）与夹具体（1）通过螺纹连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述吸头（3）底部与工件接触表面平滑。

4.根据权利要求3所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述夹具体（1）外表面的台阶与弹簧（4）间套接有挡环（8）。

5.根据权利要求4所述的一种管芯硅片真空夹具，其特征是，所述夹具体（1）上端设有轮齿，轮齿处连接有蜗杆（7）。