[实用新型]平衡检测共聚焦显微镜成像系统

摘要

一种平衡检测共聚焦显微镜成像系统，包含:一光源；一光束放大器；一聚焦机构；一扫描机构；一等量分束器，将反射光束分成两等量光束；一大面积光检测器接收来自该等量分束器的一道光束，并测得该光束的信号强度；一针孔接收来自该等量分束器的另一道光束；一光束倍增管接收来自该针孔的信号，并测得此信号的强度；一处理器，接收来自该光束倍增管及该大面积光检测器所检测的信号的信号强度，并经过校准的程序以得到校准后的反射信号强度；并应用在不同的轴向深度处的不同截面上所得到信号强度，重建该样品的影像。使用三阶非线性拟合，可增加可应用的动态范围。且经由消除光源中的功率的变动，平衡的检测可以改进轴向的分辨率。

主权项

一种平衡检测共聚焦显微镜成像系统，其特征在于，其包含:一个光源；一个光束放大器，该光束放大器接收来自该光源的光束并经散射后放大该光束的截面； 一个聚焦机构，该聚焦机构通过聚焦该光束放大器的光束以将光束聚焦到待测样品上；一个扫描机构，该扫描机构能调整该聚焦机构相对于该样品的轴向深度，并在不同深度处的样品平面上移动以使得该光束在不同的样品点上聚焦并产生反射光束；一个等量分束器，将该反射光束分成两等量光束；一个大面积光检测器，接收来自该等量分束器的其中一道光束，并测得该光束的信号强度；一个针孔，接收来自该等量分束器的另一道光束；一个光束倍增管，接收来自该针孔的光束的信号，并测得此光束的信号的强度；一个处理器，接收来自该光束倍增管及该大面积光检测器所检测的信号的信号强度，并经过校准的程序以得到校准后的反射信号强度；并应用在不同的轴向深度处的不同截面上所得到信号强度重建该样品的影像。