[实用新型]带有废热锅炉设备的干膜制造装置有效
| 申请号： | 201120235518.5 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN202205026U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 宫崎贞二 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种带有废热锅炉设备的干膜制造装置，其在干膜的制造工序中，能够实现对催化氧化设备排出口的废热的再利用。该干膜制造装置包括以下设备：用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备，用于使该已涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备，用于通过氧化而处理由该干燥设备产生的废气中的该溶剂成分的催化氧化设备，以及利用该催化氧化设备排出口的废热的废热锅炉设备。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 锅炉 设备 制造 装置 | ||
【主权项】：
干膜制造装置，其中，该干膜制造装置包括以下设备：用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备，用于使该已涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备，用于通过氧化而处理由该干燥设备产生的废气中的该溶剂成分的催化氧化设备，以及用于利用该催化氧化设备排出口的废热的废热锅炉设备。
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