[实用新型]带有废热锅炉设备的干膜制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及带有废热锅炉(boiler)设备的干膜保护层(以下，也简称为干膜)的制造装置。

背景技术

作为感光性树脂组合物，例如包括有电路用印刷电路板中所使用的干膜。干膜在制造阶段经由将作为感光性树脂组合物的光致抗蚀剂承载于PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯；聚酯)等载体膜上的工序。此时，需要将感光性树脂组合物的原料溶解于溶剂中，在含有溶剂的感光性树脂组合物被承载于载体膜上然后被干燥时，溶剂挥发而产生废气。该废气的浓度通常为约100ppm～几个百分比，因此，为了防止环境污染，通常设置废气处理设备，作为废气处理设备，通常使用通过燃烧废气来对废气进行氧化处理的催化氧化设备。

然而，在以往的干膜的制造装置中，从催化氧化设备中排出的废热没有被再利用。

发明内容

本发明要解决的问题在于，提供一种在干膜的制造工序中能够对催化氧化设备排出口的废热进行再利用的新型干膜制造装置。

为了解决所述课题，本发明人进行了深入研究和反复实验，结果发现，能利用以下结构的装置能够解决所述课题，从而完成了本发明。

即，本发明如下所述。

[1]一种干膜制造装置，其包括以下设备：

用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备，

用于使该已涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备，

用于通过氧化而处理由该干燥设备产生的废气中的该溶剂成分的催化氧化设备，以及

用于利用该催化氧化设备排出口的废热的废热锅炉设备。

[2]根据所述[1]所述的干膜制造装置，其中，所述催化氧化设备具有两个以上废热的排出口。

[3]根据所述[2]所述的干膜制造装置，其中，所述排出口包括用于排出500℃以上的废热的排出口。

根据本发明，在干膜的制造工序中，能够实现对催化氧化设备排出口的废热的再利用。

附图说明

图1所示为本发明的干膜的制造装置的一个例子的概略图。

附图标记说明

1涂布设备

2干燥设备

3含有溶剂成分的废气

4催化氧化设备

5第一废热

6第二废热

7废热锅炉设备

8水

9水蒸汽

10热交换器

11空气

12热风

具体实施方式

以下，边参照附图边详细地说明本发明。

图1示出了本发明的干膜制造装置的一个例子。

图1中，附图标记1为用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备，附图标记2为用于使所涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备，附图标记3为由干燥设备产生的含有溶剂成分的废气，附图标记4为用于通过氧化而处理由干燥设备产生的废气中的溶剂成分的催化氧化设备，附图标记5为从催化氧化设备中排出的第一废热，附图标记6为在从催化氧化设备中排出的多种废热中的温度比废热1低的第二废热，附图标记7为利用第一废热的废热锅炉设备，附图标记8为被废热锅炉设备加热之前的水，附图标记9为被废热锅炉设备加热而成的水蒸汽，附图标记10为利用水蒸汽加热空气的热交换器，附图标记11为送入热交换器的空气，而且附图标记12为从热交换器中送出的热风。

图1所示的干膜的制造装置采用将被废热锅炉设备加热而成的水蒸汽在干燥设备中再利用的工艺，但是，所述水蒸汽还能够在干燥设备以外的设备中利用。

在涂布设备中，感光性树脂组合物溶液被涂布于PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯；聚酯)等载体膜的表面。接着利用接下来的干燥设备使由涂布设备涂布于载体膜上的含有溶剂的感光性树脂组合物中所含的溶剂挥发，而在载体膜上仅残留下感光性粘着组合物。作为干燥设备，只要为能够使溶剂挥发的设备即可，例如，也可以设置干燥机(dryer)。