[实用新型]晶圆清洗支撑轮组件及晶圆竖直清洗装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆清洗支撑轮组件晶圆竖直清洗装置，包括转轴、支撑轮、第一定位件、第二定位件和弹性件；支撑轮的外周面上设置有周向切槽，支撑轮设在转轴的一端以随转轴旋转且支撑轮沿转轴的轴向在预定区段内可移动；第一定位件安装在转轴上以限定支撑轮在预定区段的第一端的第一极限位置；第二定位件可拆卸地安装在转轴上以限定支撑轮在预定区段的第二端的第二极限位置，第二极限位置较第一极限位置更靠近转轴的一端；弹性件与支撑轮连接以对支撑轮施加沿转轴的轴向从第一极限位置指向第二极限位置的弹力。本实用新型的晶圆清洗支撑轮组件，结构简单，支撑轮安装拆卸方便，且更换的成本较低。

主权项

一种晶圆清洗支撑轮组件，其特征在于，包括：转轴，支撑轮，所述支撑轮的外周面上设置有周向切槽，所述支撑轮设在所述转轴的一端以随所述转轴旋转且所述支撑轮沿所述转轴的轴向在预定区段内可移动；第一定位件，所述第一定位件安装在所述转轴上以限定所述支撑轮在所述预定区段的第一端的第一极限位置；第二定位件，所述第二定位件可拆卸地安装在所述转轴上以限定所述支撑轮在所述预定区段的第二端的第二极限位置，所述第二极限位置较所述第一极限位置更靠近所述转轴的所述一端；和弹性件，所述弹性件与所述支撑轮连接以对所述支撑轮施加沿所述转轴的轴向从所述第一极限位置指向所述第二极限位置的弹力。