[实用新型]一种高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置有效
| 申请号： | 201120232561.6 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN202174043U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 钱清友;薛治祥;颜呈祥 | 申请（专利权）人： | 江苏捷捷微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/06 | 分类号： | B05C11/06 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢海洋 |
| 地址： | 226200 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置，包括匀胶腔体底座，所述匀胶腔体底座顶部设有匀胶腔体盖，所述匀胶腔体底座和匀胶腔体盖之间设有匀胶腔体心体，其特征在于：所述匀胶腔体心体的正上方设有匀胶遮挡环，所述匀胶腔体心体侧面与匀胶腔体盖内侧内弧面平行，其间距为3.0-3.5cm，所述匀胶腔体心体顶部中心与匀胶腔体盖中心间距为1.4-1.6cm，所述匀胶遮挡环与匀胶时硅片的间距为0.15-0.25cm。本实用新型的优点是：可以减少排风的损失及加大排风在匀胶腔体中上部的抽速，在不增加总排风量的基础上有效的将匀胶过程生产的大部分胶丝抽走；光刻胶匀胶过程中生产的胶丝也就无法粘附在硅片边缘，提高了操作的简易性和光刻工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘度 光刻 胶无胶丝匀胶 装置 | ||
【主权项】：
一种高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置，包括匀胶腔体底座，所述匀胶腔体底座顶部设有匀胶腔体盖，所述匀胶腔体底座和匀胶腔体盖之间设有匀胶腔体心体，其特征在于：所述匀胶腔体心体侧面与匀胶腔体盖内侧内弧面平行，所述匀胶腔体心体的正上方设有匀胶遮挡环。
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