[实用新型]碳化硅籽晶粘接自动控制装置有效
| 申请号： | 201120210871.8 | 申请日： | 2011-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN202157144U | 公开（公告）日： | 2012-03-07 |
| 发明（设计）人： | 王利忠;王英民;毛开礼;李斌;徐伟;周立平;田牧;姜志艳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅籽晶粘接自动控制装置，解决了由于粘接工艺的稳定性差造成籽晶生长质量不高的问题。包括在发热体底座（1）上设置的封闭的石英罩（8），在封闭的石英罩（8）的顶端设置有与氩气瓶（7）连通的橡胶导管（12），在石英罩（8）中的发热体底座（1）上固定设置有石墨台（2），在石墨台（2）中分别设置有与PLC（6）电连接在一起的电加热器和温度传感器，在石墨台（2）上设置有籽晶托（3），在籽晶托（3）上设置有籽晶粘接剂（9）和籽晶（11），在籽晶托（3）的边缘处设置有夹具（10），在籽晶（11）上面设置有石英压锤（4）和钢质压块（5）。本实用新型为工业化生长SiC提供了可靠的籽晶粘接工艺装置。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 籽晶 自动控制 装置 | ||
【主权项】：
一种碳化硅籽晶粘接自动控制装置，包括发热体底座（1），在发热体底座（1）上设置的封闭的石英罩（8），在封闭的石英罩（8）的顶端设置有与氩气瓶（7）连通的橡胶导管（12），其特征在于，在封闭的石英罩（8）中的发热体底座（1）上固定设置有石墨台（2），在石墨台（2）中分别设置有电加热器和温度传感器，电加热器和温度传感器均与PLC（6）电连接在一起，在石墨台（2）上设置有籽晶托（3），在籽晶托（3）上设置有籽晶粘接剂（9）和籽晶（11），在籽晶托（3）的边缘处设置有夹具（10），在籽晶（11）上面设置有石英压锤（4）和钢质压块（5）。
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