[实用新型]高精度功率控制蓝宝石生长加热电源装置

摘要

本实用新型是一种高精度功率控制蓝宝石生长加热电源装置。它具有一个由三相整流桥(1)、输入端LC滤波器(2)、高频逆变桥(3)、高频变压器(4)、高频整流器(5)和输出端LC滤波器(6)连接构成的主变换电路，在所述主变换电路的输出端和高频逆变桥之间设有一个反馈控制电路，所述的反馈控制电路由反馈功率换算电路(7)、功率误差运算电路(8)、电流误差运算电路(9)和占空比控制芯片(10)构成。本电源从功率误差的角度给出了反馈控制信号，使输出功率始终跟随功率给定值而保持不变，从而提高了输出功率的控制精度，经检测，本电源的功率控制精度可达0.05％，大大提高蓝宝石晶体的品质。

主权项

一种高精度功率控制蓝宝石生长加热电源装置，它具有一个由三相整流桥(1)、输入端LC滤波器(2)、高频逆变桥(3)、高频变压器(4)、高频整流器(5)和输出端LC滤波器(6)连接构成的主变换电路，在所述主变换电路的输出端与高频逆变桥(3)之间设有一个反馈控制电路，其特征是：所述的反馈控制电路由反馈功率换算电路(7)、功率误差运算电路(8)、电流误差运算电路(9)和占空比控制芯片(10)构成，所述反馈功率换算电路(7)的输入端与一个反馈电压采集电路(11)相接，所述反馈功率换算电路(7)的输出端和功率给定端一起接入功率误差运算电路(8)，所述功率误差运算电路(8)的输出端和从主变换电路输出端所采集的反馈电流输出端一起接入电流误差运算电路(9)，所述电流误差运算电路(9)的输出端接入占空比控制芯片(10)，所述占空比控制芯片(10)的脉宽调制信号输出端PWM与高频逆变桥(3)的开关控制端相接。