[实用新型]一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置

摘要

本实用新型公开了一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在水路管道一上的电磁控制阀一、安装在水路管道二上的电磁控制阀二、对数控磨床中需冷却部位温度进行检测的温度检测单元、对数控磨床主驱动轴的转速进行检测的转速检测单元及控制器和参数输入单元，控制器根据转速检测单元和温度检测单元所检测信号对电磁控制阀一和电磁控制阀二的开闭状态和开度大小进行控制调整。本实用新型电路设计合理、接线方便、投入成本低且操作简便、使用效果好，将自来水供给状态与机床主轴的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况关联起来，简便且有效地达到节水目的。

主权项

一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，其特征在于：包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在所述水路管道一上的电磁控制阀一(1)、安装在所述水路管道二上的电磁控制阀二(2)、对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测的温度检测单元(5)、对数控磨床主驱动轴的转速进行实时检测的转速检测单元(3)、对所述电磁控制阀一(1)和电磁控制阀二(2)的开闭状态和开度大小进行控制调整的控制器(4)以及与所述控制器(4)相接的参数输入单元(6)，所述温度检测单元(5)、转速检测单元(3)、电磁控制阀一(1)和电磁控制阀二(2)均与控制器(4)相接，且控制器(4)根据转速检测单元(3)和温度检测单元(5)所检测信号对电磁控制阀一(1)和电磁控制阀二(2)进行控制。