[实用新型]一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器无效
| 申请号： | 201120157779.X | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN202057398U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 高仁璟;赵剑;刘书田;黄毓 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01G3/16 | 分类号： | G01G3/16 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人： | 花向阳 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，属于传感器技术领域。这种传感器的槽型悬臂梁在固定块一端设有1-2个相同的压电薄膜，在悬臂端覆盖有探测物吸附膜；通过测量悬臂结构在吸附探测物前、后的谐振频率差Δf，进而计算得到探测物的质量m。槽型悬臂梁的引入，增大了自振频率和吸附面积，提高了传感器灵敏度，提升了传感器的测量稳定性。通过压电薄膜可以准确测量由吸附膜质量引起的传感器频率变化，计算得到探测物的质量。该传感器具有结构简单、吸附面积大、质量测量范围宽、稳定性好和灵敏度高等特点，尤其灵敏度比相同尺寸矩形截面质量传感器最大可提高200％，因而可广泛应用于气/液体浓度测量、微小颗粒、粉尘以及微生物如细菌或病毒等测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 悬臂梁 结构 质量 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，它主要包括一个与固定块(1)固定连接的槽型悬臂梁(4)，其特征在于：它还包括压电薄膜和探测物吸附膜(5)，所述槽型悬臂梁(4)在固定块(1)一端设有1‑2个相同的压电薄膜，在悬臂端覆盖有探测物吸附膜(5)。
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