[实用新型]一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器

权利要求书

1.一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，它主要包括一个与固定块(1)固定连接的槽型悬臂梁(4)，其特征在于：它还包括压电薄膜和探测物吸附膜(5)，所述槽型悬臂梁(4)在固定块(1)一端设有1-2个相同的压电薄膜，在悬臂端覆盖有探测物吸附膜(5)。

2.根据权利要求1所述的一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，其特征在于：所述槽型悬臂梁(4)的上部设有一个上压电薄膜(2)。

3.根据权利要求2所述的一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，其特征在于：所述槽型悬臂梁(4)的下部设有一个与上压电薄膜(2)对称的下压电薄膜(3)。

4.根据权利要求1所述的一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，其特征在于：所述槽型悬臂梁(4)的两侧或中间沿中心线开槽，形成工字型梁或回字梁结构，并采用弹性钢或铍青铜高弹性材料制作。

5.根据权利要求3所述的一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，其特征在于：所述上压电薄膜(2)和下压电薄膜(3)极化类型相同，电气连接采用并联连接或串联连接。

6.根据权利要求1所述的一种基于槽型悬臂梁结构的微质量传感器，其特征在于：所述槽型悬臂梁(4)的截面结构，工字型单边槽宽与梁宽比0＜w₂/w₁＜0.5，回字型槽宽与悬臂梁宽比为0＜w₂/w₁＜1，且槽高与悬臂梁高的比0＜h₂/h₁＜1。