[实用新型]磁性流体密封装置的改良结构有效
申请号: | 201120145447.X | 申请日: | 2011-05-09 |
公开(公告)号: | CN202091517U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 小林宏之 | 申请(专利权)人: | 埃慕迪磁电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | F16J15/43 | 分类号: | F16J15/43 |
代理公司: | 上海京沪专利代理事务所(普通合伙) 31235 | 代理人: | 周志宏 |
地址: | 200333 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种磁性流体密封装置的改良结构,它包括:磁铁、位于磁铁两侧的环形磁极、磁性传动轴,磁性传动轴位于环形磁极部位设有环形槽,所述环形磁极与磁性传动轴之间的间隙呈阶梯式变动,阶梯式变动为高真空侧的密封间隙相对大,低真空侧的密封间隙相对小,高真空侧的密封间隙为低真空侧的密封间隙的1.1倍。与现有技术相比,采用了本实用新型提出的磁性流体密封装置的改良结构,具有如下优点:真空侧的间隙大于大气侧间隙,使真空侧内的密封段中的气体容易排出,避免放气现象的产生,不会因杂质的排出给半导体等制造工艺带来致命伤害。 | ||
搜索关键词: | 磁性 流体 密封 装置 改良 结构 | ||
【主权项】:
一种磁性流体密封装置的改良结构,它包括磁铁、位于磁铁两侧的环形磁极、磁性传动轴,磁性传动轴位于环形磁极部位设有环形槽,其特征在于,所述环形磁极与磁性传动轴之间的间隙呈阶梯式变动。
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