[实用新型]磁性流体密封装置的改良结构

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种工程元件或部件的密封装置，尤其是涉及一种磁性流体密封装置的改良结构。

背景技术：

现有技术中，由磁场将磁性流体固定于旋转轴的周围、形成非机械接触的密封装置，被广泛应用于半导体太阳能电池以及LED等生产设备中。在真空设备中，以传递扭力为目的的磁性流体密封装置中，由于真空泵抽真空时，随着真空槽内的真空度上升，常会发生放气现象：即开始抽真空时，极小的间隙中的残留空气、槽内壁上附着物会被慢慢排出，真空度随后慢慢趋于稳定；但是，随着密封装置中的旋转零件旋转，上述的残留空气、附着物又会被排出。这种放气现象的发生会给半导体等制造工艺带来致命伤害。

实用新型内容：

本实用新型的目的是针对现有技术不足之处而提供一种避免产生放气现象、能维持高真空度的磁性流体密封装置的改良结构。

本实用新型的目的是通过以下措施来实现：一种磁性流体密封装置的改良结构，它包括磁铁、位于磁铁两侧的环形磁极、磁性传动轴，磁性传动轴位于环形磁极部位设有环形槽，其特征在于，所述环形磁极与磁性传动轴之间的间隙呈阶梯式变动。

所述阶梯式变动为高真空侧的密封间隙相对大，低真空侧的密封间隙相对小。

所述高真空侧的密封间隙为低真空侧的密封间隙的1.1倍。

与现有技术相比，采用了本实用新型提出的磁性流体密封装置的改良结构，具有如下优点：真空侧的间隙大于大气侧间隙，使真空侧内的密封段中的气体容易排出，避免放气现象的产生，不会因杂质的排出给半导体等制造工艺带来致命伤害。

附图说明：

图1是本实用新型提出的一个实施例结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图对具体实施方式作详细说明：在图1所示本实用新型的一个实施例。图中，一种磁性流体密封装置的改良结构，它包括：磁铁1、位于磁铁两侧的环形磁极2、磁性传动轴3，磁性传动轴位于环形磁极部位设有环形槽4；所述环形磁极与磁性传动轴之间的间隙5呈阶梯式变动，所述阶梯式变动为高真空侧的密封间隙相对大，低真空侧的密封间隙相对小，所述高真空侧的密封间隙为低真空侧的密封间隙的1.1倍。

环形磁极与磁性传动轴之间各段的间隙由下式决定：

每段密封部的耐压差计算公式为ΔP＝μ0·∫M·dH

μ0：真空的透磁率

M：磁性流体的磁化强度

H：磁场强度

由上式可看出：耐压差与密封部断面的磁束密度成正比，间隙大，则耐压差相对来说减小。因此，真空侧的耐压差相对大气侧来说减小。基于这个原因，装在真空设备上的磁性流体密封装置，开始抽真空时，各段密封的耐压差被分散，形成准稳定的状态。这时，靠近真空侧的密封段相对耐压差低，会较快地使真空度稳定。轴旋转时，其运动也是同样的，真空度很快就能稳定。

环形磁极与磁性传动轴之间的间隙还可以采用将加工为锥形，或将环形磁极的孔加工为锥形。

上面结合附图描述了本实用新型的实施方式，实施例给出的结构并不构成对本实用新型的限制，本领域内熟练的技术人员在所附权利要求的范围内做出各种变形或修改均在保护范围内。