[实用新型]太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线有效
| 申请号： | 201120136465.1 | 申请日： | 2011-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN202090053U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张浙军;杨威力 | 申请（专利权）人： | 金博新能源技术（香港）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军 |
| 地址： | 中国香港马宝道4*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线包括放卷装置、缝接装置、压辊装置、加热装置、溅射单元、抽气狭缝装置、托辊装置、冷却装置、隔离不同膜层工作气氛的狭缝装置、纠偏传输装置、保护膜复合装置和收卷装置；上述各个部分均置于真空室体中；真空室体还分别连接真空系统、充气系统和电控系统。本实用新型用狭缝隔离磁控溅射单元间不同膜层间工作气氛，各磁控溅射单元环境气氛稳定，重复性好，便于控制，镀膜质量优，适合卷对卷连续镀膜自动生产，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳 光谱 选择性 吸收 涂层 连续 镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线包括放卷装置（1）、缝接装置（2）、压辊装置（3）、加热装置（4）、溅射单元（5）、具隔离不同膜层工作气氛及抽气功能的抽气狭缝装置（6）、托辊装置（7）、冷却装置（8）、纠偏传输装置（9）、保护膜复合装置（10）和收卷装置（11）；上述各个部分均置于真空室体（12）中；真空室体（12）还分别连接真空系统（13）、充气系统（14）和电控系统（15）。
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