[实用新型]太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线有效
| 申请号： | 201120136465.1 | 申请日： | 2011-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN202090053U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张浙军;杨威力 | 申请（专利权）人： | 金博新能源技术（香港）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军 |
| 地址： | 中国香港马宝道4*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳 光谱 选择性 吸收 涂层 连续 镀膜 生产线 | ||
【权利要求书】：
1.太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线包括放卷装置（1）、缝接装置（2）、压辊装置（3）、加热装置（4）、溅射单元（5）、具隔离不同膜层工作气氛及抽气功能的抽气狭缝装置（6）、托辊装置（7）、冷却装置（8）、纠偏传输装置（9）、保护膜复合装置（10）和收卷装置（11）；上述各个部分均置于真空室体（12）中；真空室体（12）还分别连接真空系统（13）、充气系统（14）和电控系统（15）。
2.根据权利要求1所述太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述溅射单元（5）为磁控溅射单元。
3.根据权利要求1或2所述太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述溅射单元（5）有3个或3个以上。
4.根据权利要求1所述太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述抽气狭缝装置（6）有2个或2个以上。
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