[实用新型]一种用于装载扩散磷源的源瓶无效
申请号: | 201120133492.3 | 申请日: | 2011-04-29 |
公开(公告)号: | CN202032285U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 沈法松 | 申请(专利权)人: | 苏州凯西石英电子有限公司 |
主分类号: | F17C1/10 | 分类号: | F17C1/10;G01K7/02 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;汪青 |
地址: | 215233 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于装载扩散磷源的源瓶,其包括瓶体、设置在瓶体上的进气管和出气管,所述源瓶还包括设置在所述瓶体内的热电偶保护管。本实用新型具有设置在瓶体内的热电偶保护管,在需要测量瓶体内温度时,无需取出瓶源,只需将热电偶保护管与温度变送器,调节器及显示仪表等配套连接,即可获得温度数据,温度测量既方便又安全。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 装载 扩散 | ||
【主权项】:
一种用于装载扩散磷源的源瓶,包括瓶体(1)、设置在所述瓶体(1)上的进气管(2)和出气管(3),其特征在于:所述源瓶还包括设置在所述瓶体(1)内的热电偶保护管(4)。
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