[实用新型]一种用于装载扩散磷源的源瓶无效
| 申请号： | 201120133492.3 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN202032285U | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 沈法松 | 申请（专利权）人： | 苏州凯西石英电子有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/10 | 分类号： | F17C1/10;G01K7/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215233 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 装载 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于装载扩散磷源的源瓶，包括瓶体（1）、设置在所述瓶体（1）上的进气管（2）和出气管（3），其特征在于：所述源瓶还包括设置在所述瓶体（1）内的热电偶保护管（4）。
2.根据权利要求1所述的用于装载扩散磷源的源瓶，其特征在于：所述的瓶体（1）的材质为熔凝石英。
3.根据权利要求1或2所述的用于装载扩散磷源的源瓶，其特征在于：所述的热电偶保护管（4）的材质为熔凝石英。
4.根据权利要求1所述的用于装载扩散磷源的源瓶，其特征在于：所述瓶体（1）的底部内表面为自中部向四周逐渐降低的凸面，所述的出气管（3）位于所述瓶体（1）的边缘使得出气管（3）的下端口（30）对应位于所述瓶体（1）的较低的表面上方。
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