[实用新型]低温电浆装置有效
| 申请号： | 201120125425.7 | 申请日： | 2011-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN202034341U | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈雄泉 | 申请（专利权）人： | 亚太电浆有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种低温电浆装置，设置有电浆蚀刻反应炉、支架组、导管组以及冷却器，该支架组设置有复数间隔并排的支撑板，支撑板设置于电浆蚀刻反应炉内，而导管组设置有两根岐管，并于两根岐管之间连接有复数导管，导管固定于支撑板一侧表面，且导管表面与支撑板形成直接接触。该冷却器设置有冷却装置以及泵，且冷却器连接于岐管，使冷却器凭借泵将冷却液循环导入导管组，使导管迅速吸收支撑板的热能。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 装置 | ||
【主权项】：
一种低温电浆装置，其特征在于：设置有电浆蚀刻反应炉、支架组、导管组以及冷却器，其中：该电浆蚀刻反应炉设置有操控电浆蚀刻反应炉运作的控制系统，且电浆蚀刻反应炉内具有腔体，腔体开口处设置有腔门；该支架组设置有复数间隔并排的支撑板，支撑板设置于腔体内，支撑板由温度传导系数较佳的材质所制成；该导管组设置有两根岐管，并在两根岐管之间连接有复数导管，导管固定于支撑板一侧表面，且导管表面与支撑板形成直接接触；该冷却器设置有冷却装置以及泵，且冷却器连接于岐管，使冷却器凭借泵将冷却液循环导入导管组。
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