[实用新型]低温电浆装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电浆的蚀刻清洁设备，尤指可使薄板或易遇热变形的材质，经由电浆装置进行表面处理时，不会发生变形的问题。

背景技术

电浆的蚀刻清洁设备是广泛应用于液晶产业、光电产业等制程的清洁上，对于提升产品合格率有相当的重要性。一般电浆的蚀刻清洁设备是供用来清洁平板状待清洁物，例如树脂/铜层基板等，其中因制程条件和环境影响，基板上附着污染物，而此污染物会导致后续制程中金线或树脂附着不良，严重降低合格率，故必须将基板上的污染物清除，而对待清洁物最佳的清洁处理即是电浆蚀刻清洁。

然而，为了有效的减少电浆蚀刻清洁设备处理加工件的时间，本实用新型的设计人遂发展出一种电浆蚀刻反应炉预热装置，且该电浆蚀刻反应炉预热装置是已申请并获准为中国实用新型专利第ZL200820000357.X号，其主要为利用预热方式缩短电浆与加工件表面的处理时间，然而，经本案实用新型设计人不断研究后发现，在加工件为薄板或是容易因热产生变形的材质时，此种做法反而增加了加工件在加工后产生变形，导致合格率大幅下降，因此，本实用新型的设计人遂对此问题继续不断的研究。

发明内容

本实用新型的主要目的乃在于，利用持续对加工件冷却，以使电浆装置对加工件进行表面处理时，加工件不会因过热而产生变形。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种低温电浆装置，其特征在于：设置有电浆蚀刻反应炉、支架组、导管组以及冷却器，其中：

该电浆蚀刻反应炉设置有操控电浆蚀刻反应炉运作的控制系统，且电浆蚀刻反应炉内具有腔体，腔体开口处设置有腔门；该支架组设置有复数间隔并排的支撑板，支撑板设置于腔体内，支撑板由温度传导系数较佳的材质所制成，如铝、铜、铝合金...等；该导管组设置有两根岐管，并在两根岐管之间连接有复数导管，导管固定于支撑板一侧表面，且导管表面与支撑板形成直接接触；该冷却器设置有冷却装置以及泵，且冷却器连接于岐管，使冷却器凭借泵将冷却液循环导入导管组，使导管迅速吸收支撑板的热能，使支撑板降温。

其中：该支架组所设置的复数支撑板由支架所固定。

其中：该导管是以连续弯折成形。

其中：该支架组设置有抵压件，抵压件是利用固定元件锁固于支撑板，且抵压件抵压该导管，使导管与支撑板形成紧密接触。

其中：该冷却器进一步设置有用来控制冷却装置的冷却温度的温控装置，该温控装置与该冷却器连接。

与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于：本实用新型利用冷却的方式对加工件进行冷却，使电浆蚀刻反应炉对加工件表面进行加工时，其所产生的热能不会迅速传导至整个加工件，并凭借持续地对加工件进行冷却，以确保加工件不会因加工过程中所产生的热能而造成变形。

附图说明

图1是本实用新型的外观立体图；

图2是电浆蚀刻反应炉内部的立体图；

图3是本实用新型的局部外观立体图；

图4是本实用新型支撑板与导管的立体图；

图5是本实用新型的导管组与冷却器组成结构立体图；

图6是本实用新型的剖视示意图。

附图标记说明：1-电浆蚀刻反应炉；11-腔门；12-腔体；13-控制系统；2-支架组；21-支撑板；22-支架；23-抵压件；24-固定元件；3-导管组；31-岐管；32-导管；4-冷却器；41-冷却装置；42-泵；43-温控装置；44-散热装置；5-加工件。

具体实施方式

请参阅图1至图5所示，由图中可清楚看出，本实用新型低温电浆装置，设置有电浆蚀刻反应炉1、支架组2、导管组3以及冷却器4，其中：

该电浆蚀刻反应炉1设置有操控电浆蚀刻反应炉1运作的控制系统13，且电浆蚀刻反应炉1内具有腔体12，腔体12开口处设置有腔门11。

该支架组2设置有复数间隔并排的支撑板21，支撑板21设置于腔体12内，支撑板21由具温度传导系数较佳的材质(如铝、铜、铝合金...等)所制成，且复数支撑板21由支架22所固定，而支撑板21底面设置有抵压件23，抵压件23是利用固定元件24锁固于支撑板21。

该导管组3设置有两根岐管31，并于两根岐管31之间连接有复数导管32，导管32是以连续弯折成形，且导管32固定于支撑板21底面与抵压件23之间，使导管32受抵压件23所抵压，而与支撑板21形成直接接触，且导管32凭借连续弯折成形加大导管32与支撑板21的接触面积。