[实用新型]一种基于PZT的加工微圆孔的激光扫描装置有效
| 申请号： | 201120123518.6 | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN202021423U | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 杨小君;张晓;李明;程光华;赵卫 | 申请（专利权）人： | 中科中涵激光设备（福建）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/36 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 351117 福建省莆田*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于PZT的加工微圆孔的激光扫描装置，包括一个激光器和一个待加工的工件，在所述激光器出射激光束面上设有两块成一定间距垂直分布的平面反射镜，与平面反射镜反射的激光束相对应处设有一个偏振分光棱镜，在偏振分光棱镜的上方设有四分之一波片和一个PZT光学平台；在偏振分光棱镜下方依次垂直分布有聚焦物镜和工件；激光束经平面反射镜、偏振分光棱镜反射，并经四分之一波片透射反射激光束至PZT光学平台上，PZT光学平台再反射激光束经聚焦物镜聚焦至工件。该装置按照正余弦的参数方程分别给PZT光学平台的X，Y方向逐步加电压，驱动其做圆周运动，调节电压振幅，实现出射光束扫描出圆孔。其激光的能量损失小，加工微圆孔精度高，简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pzt 加工 圆孔 激光 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种基于PZT的加工微圆孔的激光扫描装置，包括一个激光器(1)和一个待加工的工件(8)，其特征在于：在所述激光器(1)出射激光束面上设有两块成一定间距垂直分布的平面反射镜，与平面反射镜反射的激光束相对应处设有一个偏振分光棱镜(4)，在偏振分光棱镜(4)的上方设有四分之一波片(5)和一个PZT光学平台(6)；在偏振分光棱镜(4)下方依次垂直分布有聚焦物镜(7)和工件(8)。
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