[实用新型]一种基于PZT的加工微圆孔的激光扫描装置有效
| 申请号： | 201120123518.6 | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN202021423U | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 杨小君;张晓;李明;程光华;赵卫 | 申请（专利权）人： | 中科中涵激光设备（福建）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/36 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 351117 福建省莆田*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pzt 加工 圆孔 激光 扫描 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于PZT的加工微圆孔的激光扫描装置，包括一个激光器(1)和一个待加工的工件(8)，其特征在于：在所述激光器(1)出射激光束面上设有两块成一定间距垂直分布的平面反射镜，与平面反射镜反射的激光束相对应处设有一个偏振分光棱镜(4)，在偏振分光棱镜(4)的上方设有四分之一波片(5)和一个PZT光学平台(6)；在偏振分光棱镜(4)下方依次垂直分布有聚焦物镜(7)和工件(8)。
2.根据权利要求1所述的一种基于PZT的加工微圆孔的激光扫描装置，其特征在于：所述PZT光学平台(6)相对于偏振分光棱镜(4)反射后入射激光束成垂直分布，PZT光学平台(6)与计算机(9)电连接。
3.根据权利要求1所述的一种基于PZT的加工微圆孔的激光扫描装置，其特征在于：所述两块平面反射镜及偏振分光棱镜(4)镜面与激光束成倾斜角度设置，三块镜面的倾斜角度相同，均为45°。
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