[实用新型]基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器无效
| 申请号： | 201120115510.5 | 申请日： | 2011-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN202049130U | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 赵成龙;黄庆安;秦明;毕恒昌;尹奎波 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 实用新型公开了一种基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括衬底（1）、自衬底（1）向上依次设置在衬底（1）上的氧化层（2）、加热条（3）、绝缘层（4），该湿度传感器还包括第一电容电极（5）、第二电容电极（6）、钝化层（7）和湿度敏感介质（8），第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别设在绝缘层（4）上，在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上分别设有钝化层（7），湿度敏感介质（8）设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）之间，湿度敏感介质（8）还设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上方。本实用新型可以提高传感器的可靠性，工艺步骤简单，采用氧化石墨烯作为湿度敏感介质，该传感器具有灵敏度高，响应速度快，湿滞回差小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氧化 石墨 电容 相对湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括衬底（1）、自衬底（1）向上依次设置在衬底（1）上的氧化层（2）、加热条（3）、绝缘层（4），该湿度传感器还包括第一电容电极（5）、第二电容电极（6）、钝化层（7）和湿度敏感介质（8），第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别设在绝缘层（4）上，在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上分别设有钝化层（7），湿度敏感介质（8）设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）之间，湿度敏感介质（8）还设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上方，钝化层（7）位于第一电容电极（5）与湿度敏感介质（8）之间以及第二电容电极（6）与湿度敏感介质（8）之间。
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