[实用新型]基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器

权利要求书

1.一种基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括衬底（1）、自衬底（1）向上依次设置在衬底（1）上的氧化层（2）、加热条（3）、绝缘层（4），该湿度传感器还包括第一电容电极（5）、第二电容电极（6）、钝化层（7）和湿度敏感介质（8），第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别设在绝缘层（4）上，在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上分别设有钝化层（7），湿度敏感介质（8）设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）之间，湿度敏感介质（8）还设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上方，钝化层（7）位于第一电容电极（5）与湿度敏感介质（8）之间以及第二电容电极（6）与湿度敏感介质（8）之间。

2.根据权利要求1所述的基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：加热条（3）为条状且等间距排列，加热条（3）由第一加热条引线（31）和第二加热条引线（32）引出。

3.根据权利要求1所述的基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：第一电容电极（5）、第二电容电极（6）为梳齿状且交错排列，即相邻的两第一电容电极（5）之间设有第二电容电极（6），相邻的两第二电容电极（6）之间设有第一电容电极（5），其中，第一电容电极（5）由第一电极引线（51）引出，第二电容电极（6）由第二电极引线（61）引出。

4.根据权利要求1、2或3所述的基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别为铝电极。

5.根据权利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：钝化层（7）为氮化硅层。

6.根据权利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：湿度敏感介质（8）为氧化石墨烯。

7.根据权利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：加热条（3）为多晶硅加热条。

8.根据权利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：绝缘层（4）为二氧化硅绝缘层。