[实用新型]石墨舟用硅片定位结构

摘要

本实用新型涉及一种石墨舟用硅片定位结构，包括石墨舟片以及由陶瓷材料制成的定位块，定位块一端为带有两卡槽的W型，石墨舟片上设有穿套所述定位块的定位孔，定位块安装于定位孔后，两卡槽对称分布在石墨舟片的两侧。本实用新型相比现有的纽扣型、石墨材料制成的定位柱，定位块为扁形(方形)，且采用耐高温耐腐蚀的陶瓷材料制成，不仅节省了材料，而且增加了定位块的耐磨性，从而减少了定位块的更换频率，降低了成本；将定位块上定位硅片的一端设置为W型，减少了硅片与定位块的卡槽接触边缘的白点面积，提高了硅片的加工质量。

主权项

一种石墨舟用硅片定位结构，包括石墨舟片，其特征在于，还包括由陶瓷材料制成的定位块，所述定位块一端为带有两卡槽的W型，所述石墨舟片上设有穿套所述定位块的定位孔，定位块安装于所述定位孔后，所述两卡槽对称分布在所述石墨舟片的两侧。