[实用新型]石墨舟用硅片定位结构

权利要求书

1.一种石墨舟用硅片定位结构，包括石墨舟片，其特征在于，还包括由陶瓷材料制成的定位块，所述定位块一端为带有两卡槽的W型，所述石墨舟片上设有穿套所述定位块的定位孔，定位块安装于所述定位孔后，所述两卡槽对称分布在所述石墨舟片的两侧。

2.根据权利要求1所述的石墨舟用硅片定位结构，其特征在于，所述定位块为方形，所述定位孔为方形。

3.根据权利要求2所述的石墨舟用硅片定位结构，其特征在于，所述定位块横截面为矩形，所述定位孔为矩形。

4.根据权利要求1、2或3所述的石墨舟用硅片定位结构，其特征在于，所述定位块为三个；所述定位孔为三个。

5.根据权利要求4所述的石墨舟用硅片定位结构，其特征在于，所述石墨舟片设有与硅片形状适配的凹槽，所述定位孔分布于所述凹槽的四周。

6.根据权利要求5所述的石墨舟用硅片定位结构，其特征在于，所述凹槽为镂空。