[实用新型]一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉

摘要

本实用新型涉及到一种采用固态硒源法对柔性CIGS太阳能电池预制层连续快速硒化处理形成具有黄铜矿相结构吸收层的硒化炉。即一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，炉子两侧设置传动装置，炉子的主体由四部分构成，分别为过渡段、快速加热区、高温硒硫化区，冷却区。过渡段、快速加热区和冷却区充满保护气氛，高温硒硫化区为氮气或氩气与Se、S蒸汽的混合气氛。炉腔为狭长的扁形通道，入口、出口以及各区相接对应位置留有窄缝，且有惰性气体形成的气幕防止空气进入及各区间气体互串。过渡段和冷却区配有水冷装置。高温硒硫化区炉腔下部设有气垫装置防止衬底背面被硫化。硒化炉的硒蒸汽供应装置实现硒蒸汽的方便的可控性。

主权项

一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的硒化炉包括依次连接并构成硒化炉狭长的扁形炉腔的过渡段、快速加热段、硒化反应段和冷却段，所述的硒化炉的炉腔两侧分别装有入口传动辊(307)和出口传动辊(308)，所述的硒化反应段设有通至硒化反应段腔内的硒蒸汽入口(212)并通过硒蒸汽入口(212)连接外部硒蒸汽产生装置。