[实用新型]一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉

权利要求书

1.一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的硒化炉包括依次连接并构成硒化炉狭长的扁形炉腔的过渡段、快速加热段、硒化反应段和冷却段，所述的硒化炉的炉腔两侧分别装有入口传动辊(307)和出口传动辊(308)，所述的硒化反应段设有通至硒化反应段腔内的硒蒸汽入口(212)并通过硒蒸汽入口(212)连接外部硒蒸汽产生装置。

2.根据权利要求1所述的一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，炉腔入口(201)、炉腔出口(202)、过渡段与快速加热段的连接处、快速加热段与硒化反应段的连接处、硒化反应段与冷却段的连接处均各设有上下两块挡板(301)，两块挡板(301)间留出供处理材料通过的夹缝。

3.根据权利要求1所述的一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的过渡段的外侧包覆有过渡段水冷装置(302)，过渡段上设有直通过渡段腔内的过渡段气体进气管道(211)。

4.根据权利要求1所述的一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的快速加热段的腔内上下方均设有加热感应线圈(303)，上下感应线圈之间留有供处理材料通过的夹缝。

5.根据权利要求1所述的一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的快速加热段的腔内上下方均设有用于加热的红外灯或卤素灯。

6.根据权利要求1所述的一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的硒化反应段外侧包覆控温加热装置(304)，反应腔(203)内下部设有石墨垫(305)，硒化反应段的下部设有一直通腔内的硒化反应段进气管道(213)，反应腔(203)内上部设有一夹层(204)，所述的夹层(204)上设有若干不规则分布的小通孔，夹层(204)与反应腔(203)上壁之间形成夹层腔，硒蒸汽入口(212)通至夹层腔，反应腔(203)两侧分别设有第一排气管口(221)和第二排气管口(222)。

7.根据权利要求1所述的一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的冷却段设有直通腔内的冷却段进气管道(214)，冷却段外侧包覆冷却段水冷装置(306)。

8.根据权利要求1所述的一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，其特征在于，所述的硒化炉的炉腔下部均装有传动辊或传送带。