[实用新型]真空溅镀工件输送机构

摘要

真空溅镀工件输送机构，它涉及一种输送机构。它的安装基体设置在真空腔体内两侧，露出安装基体外的轴端处设置有带轴壳的轴承，轴承外侧设置有螺圈，安装基体内侧设置有两块侧向导板，侧向导板之间的中部设置有两根活节传动轴，活节传动轴两端和侧向导板两端的轴上均设置有输送链轮，输送链轮与输送滚子链相啮合，输送滚子链之间设置有支撑导轨，支撑导轨通过螺栓固定在安装基体上，缓冲轮设置在侧向导板两端的轴末端，两根活节传动轴露出安装基体外的部分均设置有传动链轮，传动链轮之间通过传动滚子链相连，两根活节传动轴中的a1轴上的传动链轮下端设置有联轴节。它的结构简单，装拆和维护保养简洁方便，使用寿命长，密封效果好。

主权项

真空溅镀工件输送机构，其特征在于它包含安装基体(2)、轴壳(3)、侧向导板(4)、支撑导轨(5)、输送链轮(6)、活节传动轴(7)、缓冲轮(8)、输送滚子链(9)、密封磁流体(10)、伺服电机(11)、联轴节(12)、传动滚子链(13)、传动链轮(14)、真空腔体(15)和螺圈(16)，安装基体(2)设置在真空腔体(15)内两侧，露出安装基体(2)外的轴端处设置有带轴壳(3)的轴承，轴承外侧设置有螺圈(16)，安装基体(2)内侧设置有两块侧向导板(4)，侧向导板(4)之间的中部设置有两根活节传动轴(7)，活节传动轴(7)两端和侧向导板(4)两端的轴上均设置有输送链轮(6)，输送链轮(6)与输送滚子链(9)相啮合，输送滚子链(9)之间设置有支撑导轨(5)，支撑导轨(5)通过螺栓固定在安装基体(2)上，缓冲轮(8)设置在侧向导板(4)两端的轴末端，两根活节传动轴(7)露出安装基体(2)外的部分均设置有传动链轮(14)，传动链轮(14)之间通过传动滚子链(13)相连，两根活节传动轴(7)中的a1轴上的传动链轮(14)下端设置有联轴节(12)，a1轴通过联轴节(12)与真空腔体(15)外侧的伺服电机(11)相连，且伺服电机(11)的电机轴与真空腔体(15)连接处设置有密封磁流体(10)。