[实用新型]真空溅镀工件输送机构

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种输送机构，尤其涉及一种真空溅镀工件输送机构。

背景技术：

真空溅镀技术是物理气相沉积制备镀膜方法中的一种，至今已经发展成为可在任何材质基片上覆盖任何材质的镀膜，广泛应用于各种表面镀膜生产中。

目前，在连续化真空溅镀生产线中，工件的输送主要由两个部分组成，包括传动机构和输送机构。伺服驱动电机带动传动机构，将动力传送至输送机构，输送机构带动载有工件的工装板按真空溅镀工艺要求的方向运动。通常的传动机构为同步齿形传动胶带和多个传动轴组成，输送机构为多个带有胶圈的输送轮组成。

在连续化真空溅镀过程中，上述输送机构胶圈易损，输送轮与工装板易出现打滑现象，在不同腔体转接过程中工装板易发生撞击问题，不能保证有效传动和输送的稳定；齿形传动胶带在高温环境下，易分解老化，使用寿命短，分解物改变了腔体内的气氛，增加了达到高真空的难度，且对镀膜质量造成不良影响。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种真空溅镀工件输送机构，它的输送滚子链既起到传动作用，又起到工件的输送作用，简化了结构，装拆和维护保养简洁方便，使用寿命长；轴壳解决了单防尘轴承滚道的二级密封问题；支撑导轨起到了输送滚子链的支撑和定位作用；缓冲轮减少了工装板在不同腔体输送转接时易出现的撞击问题；密封磁流体提高了高真空动密封的可靠性。

为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案：它包含安装基体、轴壳、侧向导板、支撑导轨、输送链轮、活节传动轴、缓冲轮、输送滚子链、密封磁流体、伺服电机、联轴节、传动滚子链、传动链轮、真空腔体和螺圈，安装基体设置在真空腔体内两侧，露出安装基体外的轴端处设置有带轴壳的轴承，轴承外侧设置有螺圈，安装基体内侧设置有两块侧向导板，侧向导板之间的中部设置有两根活节传动轴，活节传动轴两端和侧向导板两端的轴上均设置有输送链轮，输送链轮与输送滚子链相啮合，输送滚子链之间设置有支撑导轨，支撑导轨通过螺栓固定在安装基体上，缓冲轮设置在侧向导板两端的轴末端，两根活节传动轴露出安装基体外的部分均设置有传动链轮，传动链轮之间通过传动滚子链相连，两根活节传动轴中的a1轴上的传动链轮下端设置有联轴节，a1轴通过联轴节与真空腔体外侧的伺服电机相连，且伺服电机的电机轴与真空腔体连接处设置有密封磁流体。

本实用新型伺服电机通过联轴节与活节传动轴(a₁和a₂两根)连接，活节传动轴带动传动链轮和传动滚子链，同时带动输送链轮和输送滚子链，使传动均匀分布到八个输送链轮和四个输送滚子链上，输送滚子链由支撑导轨支撑并定位。装有工件的工装板进入真空腔体后，由装在安装基体上的侧向导板导向，由装在两端的四个缓冲轮缓冲；安装基体外侧轴处装有带轴壳的轴承，伺服电机与真空腔体间采用密封磁流体对轴进行密封。

本实用新型的输送滚子链既起到传动作用，又起到工件的输送作用，简化了结构，装拆和维护保养简洁方便，使用寿命长；轴壳解决了单防尘轴承滚道的二级密封问题；支撑导轨起到了输送滚子链的支撑和定位作用；缓冲轮减少了工装板在不同腔体输送转接时易出现的撞击问题；密封磁流体提高了高真空动密封的可靠性。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的A-A向旋转剖视图；

图3为图1的B-B向旋转剖视图。

具体实施方式：

参照图1-3，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含安装基体2、轴壳3、侧向导板4、支撑导轨5、输送链轮6、活节传动轴7、缓冲轮8、输送滚子链9、密封磁流体10、伺服电机11、联轴节12、传动滚子链13、传动链轮14、真空腔体15和螺圈16，安装基体2设置在真空腔体15内两侧，露出安装基体2外的轴端处设置有带轴壳3的轴承，轴承外侧设置有螺圈16，安装基体2内侧设置有两块侧向导板4，侧向导板4之间的中部设置有两根活节传动轴7，活节传动轴7两端和侧向导板4两端的轴上均设置有输送链轮6，输送链轮6与输送滚子链9相啮合，输送滚子链9之间设置有支撑导轨5，支撑导轨5通过螺栓固定在安装基体2上，缓冲轮8设置在侧向导板4两端的轴末端，两根活节传动轴7露出安装基体2外的部分均设置有传动链轮14，传动链轮14之间通过传动滚子链13相连，两根活节传动轴7中的a1轴上的传动链轮14下端设置有联轴节12，a1轴通过联轴节12与真空腔体15外侧的伺服电机11相连，且伺服电机11的电机轴与真空腔体15连接处设置有密封磁流体10。