[实用新型]垂直式石墨舟

摘要

本实用新型涉及一种垂直式石墨舟，包括多片垂直排列的石墨片，各石墨片通过多个垂直贯穿的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管；所述石墨片分为交错设置的左耳石墨片及右耳石墨片；所述左耳石墨片的左端耳部之间设置有编码连接块，所述编码连接块上固定有编码螺栓；所述右耳石墨片的右端耳部之间设置有连接块。本实用新型使用时，通过编码螺栓与PECVD设备的控制装置相连，显示舟体的类型和编号，便于石墨舟的管理，保证舟体的安全使用，给硅片的生产带来极大的便利。

主权项

一种垂直式石墨舟，包括多片垂直排列的石墨片，各石墨片通过多个垂直贯穿的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管（11），其特征是：所述石墨片分为交错设置的左耳石墨片（2）及右耳石墨片（3）；所述左耳石墨片（2）的左端耳部之间设置有编码连接块（4），所述编码连接块（4）上固定有编码螺栓（20）；所述右耳石墨片（3）的右端耳部之间设置有连接块（6）。