[实用新型]垂直式石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产过程中硅片镀膜时使用的硅片载体，具体地说是一种垂直式石墨舟，属于太阳能电池片生产的技术领域。

背景技术

太阳能电池片生产过程中，采用PECVD（等离子增强化学气相沉积）工艺进行硅片镀膜时，通常采用石墨舟作为硅片的载体。传统的石墨舟为垂直式石墨舟，包括多片垂直排列的石墨片，各石墨片通过多个垂直贯穿的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管，相间隔的石墨片分别与舟体两端设置的电极连接块相连。每个生产车间一般有多种类型的石墨舟，比如125石墨舟和156石墨舟；并且每种石墨舟有多个。传统的石墨舟上没有显示其类型和编号的装置，无法区分各个石墨舟，给石墨舟的管理带来极大的不便，不利于硅片的生产。

发明内容

本实用新型针对上述问题，提供一种垂直式石墨舟，该石墨舟上设置有显示其类型和编号的装置，便于石墨舟的管理。

按照本实用新型的技术方案：一种垂直式石墨舟，包括多片垂直排列的石墨片，各石墨片通过多个垂直贯穿的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管；所述石墨片分为交错设置的左耳石墨片及右耳石墨片；所述左耳石墨片的左端耳部之间设置有编码连接块，所述编码连接块上固定有编码螺栓；所述右耳石墨片的右端耳部之间设置有连接块。

所述舟体两端的连接块中设置有开槽连接块。

所述各石墨片上对应放置硅片的位置镂空。

所述舟体长度方向的两侧最外边分别设置有边片石墨片。

所述舟体长度方向两端的底部分别设置有舟脚。

所述舟体长度方向两端的底部分别设置有电极连接块。

所述陶瓷杆的端部由石墨螺母紧固。

所述左耳石墨片的左端耳部之间设置有贯穿的第二石墨杆，所述第二石墨杆的端部设置有石墨螺母。

所述右耳石墨片的右端耳部之间设置有贯穿的第一石墨杆，所述第一石墨杆的端部设置有石墨螺母。

所述石墨螺母的外侧设置有封头螺母。

本实用新型的技术效果在于：本实用新型使用时，通过编码螺栓与PECVD设备的控制装置相连，显示舟体的类型和编号，便于石墨舟的管理，保证舟体的安全使用，给硅片的生产带来极大的便利。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意主视图。

图2为图1的俯视图。

图3为图1的左视图。

图4为本实用新型的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

图1～图4中，包括边片石墨片1、左耳石墨片2、右耳石墨片3、编码连接块4、开槽连接块5、连接块6、舟脚7、电极连接块8、第一石墨螺母9、第一陶瓷杆10、陶瓷管11、第一工艺点12、第二工艺点13、第二石墨螺母14、第二陶瓷杆15、第一石墨杆16、封头螺母17、第三陶瓷杆18、第二石墨杆19、编码螺栓20等。

如图1～图4所示，本实用新型是一种垂直式石墨舟，包括多片垂直排列的石墨片，石墨片分为交错设置的左耳石墨片2及右耳石墨片3。各左耳石墨片2及右耳石墨片3上对应放置硅片的位置镂空。在舟体长度方向的两侧最外边还可以分别设置有边片石墨片1，边片石墨片1上没有镂空。本实施例中，设置有11片左耳石墨片2、10片右耳石墨片3及2片边片石墨片1，共23片垂直排列的石墨片。

各石墨片，包括左耳石墨片2、右耳石墨片3及边片石墨片1，通过多个垂直贯穿的第一陶瓷杆10固定连接成舟体，相邻两片石墨片之间的第一陶瓷杆10上套装有陶瓷管11。陶瓷管11的作用是使相邻的石墨片保持预定的间隔并保持相互绝缘。第一陶瓷杆10的两个端部分别由两个第一石墨螺母9紧固。

左耳石墨片2的左端设置有上下两个耳部。相邻的左耳石墨片2的上下两个耳部之间设置有连接块6。上耳部之间的连接块6分为置有8个编码连接块4和2个开槽连接块5，每个编码连接块4上固定连接有一个编码螺栓20。下耳部之间的连接块6中设置有2个开槽连接块5、2个舟脚7、1个电极连接块8。

各左耳石墨片2的上耳部、下耳部之间分别通过贯穿的1个第三陶瓷杆18及1个第二石墨杆19连接。每个第三陶瓷杆18的两个端部分别由两个第二石墨螺母14紧固，每个第二石墨杆19的两个端部分别由1个第二石墨螺母14和1个封头螺母17紧固。