[实用新型]一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置

摘要

一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置，是由：混合气进气管道，缓冲罐，增压机进口管道，混合气增压机，增压机出口管道，增压机二回一管道，循环氢气储罐，循环氢气管道，循环氢气压缩机进口管道，循环氢气压缩机，循环氢气压缩机出口管道构成；采用氯化氢是和氢气混合气被排出变压吸附系统后直接进入氢化系统，与氢化系统中的气相四氯化硅和固态硅粉在催化剂表面进行多相催化反应，生产出三氯氢硅成为多晶硅生产的原料，使氢气进一步回收，提高氢气利用率，完善了系统稳定和安全操作的要求，无污染，有利于环境保护。结构简单，改造方便，减少排放及污染，降低了氢气的浪费，节约了时间，降低成本、同时保护了环境。

主权项

一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置，是由：混合气进气管道(1)，缓冲罐(2)，增压机进口管道(3)，混合气增压机(4)，增压机出口管道(5)，增压机二回一管道(6)，循环氢气储罐(7)，循环氢气管道(8)，循环氢气压缩机进口管道(9)，循环氢气压缩机(10)，循环氢气压缩机出口管道(11)构成，其特征在于：缓冲罐(2)下部的一侧设置混合气进气管道(1)，缓冲罐(2)下部的另一侧设置增压机进口管道(3)，增压机进口管道(3)的另一端设置在混合气增压机(4)的一侧，混合气增压机(4)的上方设置增压机出口管道(5)，增压机出口管道(5)与增压机进口管道(3)之间设置增压机二回一管道(6)；增压机出口管道(5)的另一端设置在循环氢气储罐(7)顶部的一端，增压机出口管道(5)的一侧并列设置循环氢气管道(8)与循环氢气压缩机进口管道(9)在循环氢气储罐(7)顶部，循环氢气压缩机进口管道(9)的另一端设置在循环氢气压缩机(10)的一侧，循环氢气压缩机(10)的上方设置循环氢气压缩机出口管道(11)。