[实用新型]一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置

权利要求书

1.一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置，是由：混合气进气管道(1)，缓冲罐(2)，增压机进口管道(3)，混合气增压机(4)，增压机出口管道(5)，增压机二回一管道(6)，循环氢气储罐(7)，循环氢气管道(8)，循环氢气压缩机进口管道(9)，循环氢气压缩机(10)，循环氢气压缩机出口管道(11)构成，其特征在于：缓冲罐(2)下部的一侧设置混合气进气管道(1)，缓冲罐(2)下部的另一侧设置增压机进口管道(3)，增压机进口管道(3)的另一端设置在混合气增压机(4)的一侧，混合气增压机(4)的上方设置增压机出口管道(5)，增压机出口管道(5)与增压机进口管道(3)之间设置增压机二回一管道(6)；增压机出口管道(5)的另一端设置在循环氢气储罐(7)顶部的一端，增压机出口管道(5)的一侧并列设置循环氢气管道(8)与循环氢气压缩机进口管道(9)在循环氢气储罐(7)顶部，循环氢气压缩机进口管道(9)的另一端设置在循环氢气压缩机(10)的一侧，循环氢气压缩机(10)的上方设置循环氢气压缩机出口管道(11)。