[实用新型]一种硅粉干燥装置有效
申请号: | 201120052702.6 | 申请日: | 2011-03-02 |
公开(公告)号: | CN201850148U | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 张旭 | 申请(专利权)人: | 特变电工新疆硅业有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型提供一种硅粉干燥装置,包括有输入待干燥硅粉以及干燥所需加热气体的输入单元、干燥单元、用于对干燥单元进行抽真空的真空单元以及输出干燥后的硅粉及水汽的输出单元,所述干燥单元分别与输入单元、真空单元以及输出单元连接,通过调节输入单元利用合成尾气作加热气体及真空单元来获得对硅粉的干燥。本实用新型硅粉干燥装置使整个硅粉加热、干燥流程时间缩短,并可连续操作,减少氮气用量;利用高温三氯氢硅合成尾气循环加热硅粉,使其热量被充分利用,实现节能降耗目的,有效解决了一直以来加压三氯氢硅合成硅粉加热干燥存在的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 干燥 装置 | ||
【主权项】:
一种硅粉干燥装置,其特征在于包括有输入待干燥硅粉以及干燥所需加热气体的输入单元、干燥单元、用于对干燥单元进行抽真空的真空单元以及输出干燥后的硅粉及水汽的输出单元,所述干燥单元分别与输入单元、真空单元以及输出单元连接,通过调节输入单元利用合成尾气作加热气体及真空单元来获得对硅粉的干燥。
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