[实用新型]一种硅粉干燥装置

权利要求书

1.一种硅粉干燥装置，其特征在于包括有输入待干燥硅粉以及干燥所需加热气体的输入单元、干燥单元、用于对干燥单元进行抽真空的真空单元以及输出干燥后的硅粉及水汽的输出单元，所述干燥单元分别与输入单元、真空单元以及输出单元连接，通过调节输入单元利用合成尾气作加热气体及真空单元来获得对硅粉的干燥。

2.根据权利要求1所述的硅粉干燥装置，其特征在于干燥单元包括一个带夹套(10)的干燥罐(1)，有高温三氯氢硅合成尾气的合成尾气输入管线(5)、合成尾气循环管线(6)与干燥罐(1)的夹套连接，通过夹套(10)对干燥罐(1)加热，使干燥罐(1)内的温度保持恒定在110-130℃，有氮气输入管线(7)与干燥罐(1)连接，有温度调节器加热氮气通过氮气输入管线(7)输入罐内与硅粉直接接触进行鼓泡沸腾加热。

3.根据权利要求2所述的硅粉干燥装置，其特征在于所述温度调节器与输入蒸汽的蒸汽管连接，加热氮气。

4.根据权利要求3所述的硅粉干燥装置，其特征在于所述加热氮气温度为100-120℃。

5.根据权利要求2所述的硅粉干燥装置，其特征在于输入单元主要包括过滤器(2)，连接在干燥罐(1)顶部，硅粉输入管道与过滤器(2)连接，真空单元主要包括真空泵(3)，真空泵(3)连接至过滤器(2)的上端口。

6.根据权利要求2所述的硅粉干燥装置，其特征在于所述真空单元包括一个真空泵(3)，用于对干燥罐(1)抽真空。

7.根据权利要求1所述的硅粉干燥装置，其特征在于所述输出单元主要包括排空管线(8)和硅粉计量罐(4)，排空管线8设置在过滤器(2)的上端口，硅粉计量罐(4)与干燥罐(1)的底部连接。