[实用新型]多晶硅加热装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅加热装置，包括有保温壁，保温壁上设置有保温盖，其特征在于：保温壁内设置有石墨加热器，在石墨加热器内通过托碗设置有石英坩埚，托碗通过坩埚托杆支撑，保温壁下设置有绝缘垫片，石墨加热器的引脚与石墨电极连接，其中石墨电极包括直筒型的石墨电极主体和设置在石墨电极主体上的同轴的凸台两部分，其中石墨电极主体上的凸台与石墨加热器接触，其中石墨电极主体通过固定螺钉与石墨加热器连接。本实用新型解决了现有其他加热装置结构较复杂的问题，便于操作生产以及维护。具有很强的推广价值和应用价值，有效降低了加热器与石墨电极的接触打火几率，提高了加热器使用寿命。

主权项

一种多晶硅加热装置，包括有保温壁（2），保温壁（2）上设置有保温盖（1），其特征在于：保温壁（2）内设置有石墨加热器（5），在石墨加热器（5）内通过托碗（6）设置有石英坩埚（7），托碗（6）通过坩埚托杆（8）支撑，保温壁（2）下设置有绝缘垫片（3），石墨加热器（5）的引脚与石墨电极（4）连接，其中石墨电极（4）包括直筒型的石墨电极主体（4.1）和设置在石墨电极主体（4.1）上的同轴的凸台（4.2）两部分，其中石墨电极主体（4.1）上的凸台（4.2）与石墨加热器（5）接触，其中石墨电极主体（4.1）通过固定螺钉（9）与石墨加热器（5）连接。