[实用新型]多晶硅加热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅加热装置。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。利用价值：从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。多晶硅加热过程可以分为三个阶段：预加热、持续加热和恒温加热。目前，在现有晶体加工过程中，用到的化料设备就是晶体生长炉，晶体生长炉包括炉体、炉盖、蜡涡、导流筒、加热系统，坩埚位于炉体内部，加热系统中有加热器，加热器通过螺栓固定在电极柱上等等。然而现有的这些加热设备结构较复杂，不便于操作的缺陷，故需要改进。除此之外，直拉单晶炉热场中的加热器是通过与石墨电极连接的方式进行供电加热的，如果出现加热器与石墨电极接触不良的情况，在加热器与石墨电极的连接部极易出现打火现象。加热器的电流较大，在这样强电流的环境下，如果出现打火现象将会给加热器带来很大的损伤，甚至直接导致加热器和石墨电极损坏，高纯石墨加热器是直拉单晶炉热场中单价最高的部件，并且会导致单晶产品报废，造成巨大的损失。因此本实用新型提供一种多晶硅加热装置，解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，在此提供一种结构简单且可靠性好的多晶硅加热装置。

本实用新型是这样实现的，构造一种多晶硅加热装置，包括有保温壁，保温壁上设置有保温盖，保温壁内设置有石墨加热器，在石墨加热器内通过托碗设置有石英坩埚，托碗通过坩埚托杆支撑，保温壁下设置有绝缘垫片，石墨加热器的引脚与石墨电极连接，其中石墨电极包括直筒型的石墨电极主体和设置在石墨电极主体上的同轴的凸台两部分，其中石墨电极主体上的凸台与石墨加热器接触，其中石墨电极主体通过固定螺钉与石墨加热器连接。

本实用新型的优点在于：本实用新型解决了现有其他加热装置结构较复杂的问题，便于操作生产以及维护。具有很强的推广价值和应用价值。在与现有结构保持兼容的情况下，通过增加的凸台结构，显著增加了石墨电极与加热器接触面积，有效降低了加热器与石墨电极的接触打火几率，提高了加热器使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图

图2是本实用新型石墨电极的结构示意图

图中：1、保温盖，2、保温壁，3、绝缘垫片， 4、石墨电极，4.1、石墨电极主体，4.2、凸台，5、石墨加热器，6、托碗，7、石英坩埚，8、坩埚托杆，9、固定螺钉。

具体实施方式

为了克服现有技术的不足，本实用新型在此提供一种多晶硅加热装置，如图1所示：包括有保温壁2，保温壁2上设置有保温盖1，保温壁2内设置有石墨加热器5，在石墨加热器5内通过托碗6设置有石英坩埚7，托碗6通过坩埚托杆8支撑，保温壁2下设置有绝缘垫片3，石墨加热器5的引脚与石墨电极4连接，其中石墨电极4包括直筒型的石墨电极主体4.1和设置在石墨电极主体4.1上的同轴的凸台4.2两部分，其中石墨电极主体4.1上的凸台4.2与石墨加热器5接触，其中石墨电极主体4.1通过固定螺钉9与石墨加热器5连接。本实用新型解决了现有其他加热装置结构较复杂的问题，便于操作生产以及维护。其中本实用新型通过对石墨电机进行改进，通过将与石墨加热器连接的一端设计为蘑菇头的凸台结构，显著增大了接触面积，保证了石墨加热器与石墨电机的良好接触，降低打火几率，增大了石墨加热器的使用寿命。