[实用新型]用于石英坩埚生产中的氮气流量自动调节装置无效
申请号: | 201120020541.2 | 申请日: | 2011-01-23 |
公开(公告)号: | CN201981114U | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 赵苗东;孔旺;官春水;江迪夫;昝继军;罗军;占胜;徐振华;董建安;李志超 | 申请(专利权)人: | 江西索威科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 李炳生 |
地址: | 334000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 用于石英坩埚生产中的氮气流量自动调节装置,包括控制装置、充氮装置本体、压力传感器、流量调节装置和石英坩埚生产装置,所述充氮装置本体与所述石英坩埚生产装置相连的管道上设置所述流量调节装置,该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接,所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器,该压力传感器安装在所述石英坩埚生产装置内。本实用新型结构简单,操作方便,能够实时监测石英坩埚生产装置内部压力,并依据压力对氮气流量做出合理的自动调节。 | ||
搜索关键词: | 用于 石英 坩埚 生产 中的 氮气 流量 自动 调节 装置 | ||
【主权项】:
用于石英坩埚生产中的氮气流量自动调节装置,包括控制装置、充氮装置本体、压力传感器、流量调节装置和石英坩埚生产装置,其特征在于:所述充氮装置本体与所述石英坩埚生产装置相连的管道上设置所述流量调节装置,该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接,所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器,该压力传感器安装在所述石英坩埚生产装置内。
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