[实用新型]用于石英坩埚生产中的氮气流量自动调节装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及氮气流量调节装置，具体为一种用于制造石英坩埚中的氮气流量自动调节装置。

背景技术

在石英坩埚的制造过程中，往石英坩埚生产装置内充入氮气可以保护石墨模具本体，提高模具的使用率，还可以减少坩埚内壁气泡的发生，从而提高产品的品质。

目前普遍应用的氮气流量调节装置多由Ⅲ型仪表组成，该种配置仅适用于一种压力下的流量调节，而且流量调节非常不稳定，不能满足使用工艺要求，所以均在管道上增加一手动截止阀，需要手动调节。其存在的缺点包括：1、操作不便，工艺过程调节次数多；2、不能及时观测石英坩埚生产装置内部压力并实时做出相应调控；3、工艺操作的随机性大，人为因素影响较大。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供用于石英坩埚生产中的氮气流量自动调节装置，使之能够实时监测石英坩埚生产装置内部压力，并依据压力对氮气流量做出合理的自动调节，从而解决上述背景技术中的缺点。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

用于石英坩埚生产中的氮气流量自动调节装置，包括控制装置、充氮装置本体、压力传感器、流量调节装置和石英坩埚生产装置，所述充氮装置本体与所述石英坩埚生产装置相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述石英坩埚生产装置内。

作为一种改进，所述控制装置为CPU，可以接收压力传感器采集的压力数据，在显示屏上显示，并对数据进行处理，做出调控信号，根据信号对所述流量调节装置进行调控。

作为一种改进，所述流量调节装置为多组电磁阀、单向阀和减压阀的组合，可以对充氮装置本体的氮气输出速度进行调节。

由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型结构简单，操作方便，能够实时监测石英坩埚生产装置内部压力，并依据压力对氮气流量做出合理的自动调节，减少了人为因素的影响，使之更利于石英坩埚的生产。

附图说明

图1为本实用新型组成结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

参见图1，用于石英坩埚生产中的氮气流量自动调节装置，包括充氮装置本体1、控制装置2、压力传感器3、流量调节装置4和石英坩埚生产装置5，所述充氮装置本体1与所述石英坩埚生产装置5相连的管道上设置所述流量调节装置4，该流量调节装置4与所述控制装置2的信号输出端连接，所述控制装置2的信号输入端连接所述压力传感器3，该压力传感器3安装在所述石英坩埚生产装置5内。

本实施例中，所述控制装置2为CPU，可以接收压力传感器3采集的压力数据，在显示屏上显示，并对数据进行处理，做出调控信号，根据信号对所述流量调节装置4做出调控。

本实施例中，所述流量调节装置4为多组电磁阀、单向阀和减压阀的组合，可以对充氮装置本体1的氮气输出速度进行调节。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定  。