[实用新型]可防止气泡的氮气压力方式供应光刻胶系统有效
| 申请号： | 201120017788.9 | 申请日： | 2011-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN201921800U | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王阳 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/00;B05C11/11;H01L21/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体封装领域，具体为一种用以在半导体生产中的可防止气泡的氮气压力方式供应光刻胶系统。该系统在压力桶中放置光刻胶胶瓶，压力桶上盖设有穿板密封接头，光刻胶管通过穿板密封接头插到光刻胶瓶底部，穿过压力桶的光刻胶管连接到排泡装置，排泡装置的输出端依次连接到药液阀和喷头；在压力桶上装有进气管路和排气管路，进气管路连接到两位三通电磁阀，两位三通电磁阀连接到减压阀，减压阀连接到氮气气源，排气管路连接到安全泄压阀。本实用新型通过氮气压力提供动力使高粘度光刻胶产生压力，通过自动控制在涂胶开始前提供压力，在涂胶结束后卸掉压力，防止由于长时间供给压力使氮气溶解于光刻胶中，造成涂胶时候产生气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 可防止 气泡 氮气 压力 方式 供应 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种可防止气泡的氮气压力方式供应光刻胶系统，其特征在于：该系统设有减压阀、两位三通电磁阀、胶瓶、压力桶、药液阀、排泡装置、光刻胶管、穿板密封接头、喷头、进气管路、排气管路，在压力桶中放置光刻胶胶瓶，压力桶上盖设有穿板密封接头，光刻胶管通过穿板密封接头插到光刻胶瓶底部，穿过压力桶的光刻胶管连接到排泡装置，排泡装置的输出端依次连接到药液阀和喷头；在压力桶上装有进气管路和排气管路，进气管路连接到两位三通电磁阀，两位三通电磁阀连接到减压阀，减压阀连接到氮气气源，排气管路连接到安全泄压阀。
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