[实用新型]可防止气泡的氮气压力方式供应光刻胶系统有效
| 申请号： | 201120017788.9 | 申请日： | 2011-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN201921800U | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王阳 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/00;B05C11/11;H01L21/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可防止 气泡 氮气 压力 方式 供应 光刻 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种可防止气泡的氮气压力方式供应光刻胶系统，其特征在于：该系统设有减压阀、两位三通电磁阀、胶瓶、压力桶、药液阀、排泡装置、光刻胶管、穿板密封接头、喷头、进气管路、排气管路，在压力桶中放置光刻胶胶瓶，压力桶上盖设有穿板密封接头，光刻胶管通过穿板密封接头插到光刻胶瓶底部，穿过压力桶的光刻胶管连接到排泡装置，排泡装置的输出端依次连接到药液阀和喷头；在压力桶上装有进气管路和排气管路，进气管路连接到两位三通电磁阀，两位三通电磁阀连接到减压阀，减压阀连接到氮气气源，排气管路连接到安全泄压阀。
2.按照权利要求1所述的可防止气泡的氮气压力方式供应光刻胶系统，其特征在于：胶瓶下面有电子秤。
3.按照权利要求1所述的可防止气泡的氮气压力方式供应光刻胶系统，其特征在于：在进气管路上设置手动三通阀。
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