[发明专利]与外涂的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 201110463317.5 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102621813A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | O·昂格伊;V·简恩;S·克雷;A·赞皮尼 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C09D167/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 顾敏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机涂料组合物，尤其是减反射涂料组合物，所述组合物是包含含有一种或多种尿嘧啶部分的组分的组合物。本发明优选的组合物在减少从基材反回到外涂光致抗蚀剂层的曝光辐射的反射和/或作为平坦化、保形或塞孔层使用是有用的。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
一种涂布的基材，包含：(a)基材上的一涂料组合物层，所述涂料组合物包含含有一种或多种尿嘧啶部分的组分；(b)在涂料组合物层上的光致抗蚀剂层。
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