[发明专利]与外涂的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 201110463317.5 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102621813A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | O·昂格伊;V·简恩;S·克雷;A·赞皮尼 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C09D167/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 顾敏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
1.一种涂布的基材，包含：
(a)基材上的一涂料组合物层，所述涂料组合物包含含有一种或多种尿嘧啶部分的组分；
(b)在涂料组合物层上的光致抗蚀剂层。
2.如权利要求1所述的基材，其特征在于，所述包含一种或多种尿嘧啶部分的组分是树脂。
3.如权利要求2所述的基材，其特征在于，所述树脂包含聚酯键合。
4.如权利要求2或3所述的基材，其特征在于，所述树脂进一步包含一个或多个氰脲酸酯基团。
5.如权利要求1至4中任一项所述的基材，其特征在于，所述涂料组合物包含苯基或蒽基基团。
6.一种形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法，包括：
(a)在基材上涂敷一涂料组合物，所述涂料组合物包含含有一种或多种尿嘧啶部分的组分；
(b)在所述涂料组合物层上涂敷一光致抗蚀剂组合物；和
(c)曝光并显影所述光致抗蚀剂层以提供抗蚀剂浮雕图像。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述含有一种或多种尿嘧啶部分的组分是树脂。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述树脂包含聚酯键合。
9.如权利要求6至8中任一项所述的方法，其特征在于，所述涂料组合物包含含有苯基或蒽基基团的组分。
10.如权利要求6至9中任一项所述的方法，其特征在于，所述光致抗蚀剂在193nm辐射下曝光。
11.如权利要求6至10中任一项所述的方法，其特征在于，所述涂敷的涂料组合物在涂敷所述光致抗蚀剂组合物之前是交联的。
12.一种与外涂的光致抗蚀剂组合物一起使用的减反射组合物，所述减反射组合物包含含有一种或多种尿嘧啶键合的树脂。
13.如权利要求12所述的减反射组合物，其特征在于，所述树脂包含聚酯键合。
14.如权利要求12或13所述的减反射组合物，其特征在于，所述树脂包含苯基基团。
15.如权利要求12至14中任一项所述的减反射组合物，其特征在于，所述组合物包含交联剂组分。
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