[发明专利]化学镀催化剂和方法有效
| 申请号: | 201110462535.7 | 申请日: | 2011-12-14 |
| 公开(公告)号: | CN102534576A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
| 发明(设计)人: | M·A·热兹尼科;刘锋 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C23C18/20 | 分类号: | C23C18/20;C23C18/30 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 郭辉 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明提供了稳定的零价金属组合物以及制备和使用该组合物的方法。该组合物适用于作为非导电基底的金属化催化剂,特别适用于电子器件制造。 | ||
| 搜索关键词: | 化学 催化剂 方法 | ||
【主权项】:
1.一种组合物,包括0.5至100ppm的零价金属,稳定剂化合物和水;其中零价金属选自钯,银,钴,镍,金,铜和钌;其中的稳定剂化合物具有化学式
其中R=H或(C1-C6)烷基;R1各自独立地选自H,(C1-C6)烷基和Z;Z=C2-C6)烯基-Z1或(CR2R3)aZ1;R2和R3各自独立地选自H,羟基,(C1-C6)烷基,羟基(C1-C6)烷基,C(O)-(C1-C6)烷基,(C1-C6)烷基-C(O)-(C1-C6)烷基,CO2R4和NR5R6;R4=H ,(C1-C6)烷基,羟基(C1-C6)烷基或(C1-C4)烷氧基(C1-C6)烷基;R5和R6各自独立地选自H,(C1-C6)烷基和(CR2R3)aZ2;Z1=C(S)SH,CO2H,或C(O)NR5R6;Z2=C(O)R4或CO2R4;和a=0-6;其中至少一个R1是Z。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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