[发明专利]化学镀催化剂和方法有效
| 申请号： | 201110462535.7 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102534576A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | M·A·热兹尼科;刘锋 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/20 | 分类号： | C23C18/20;C23C18/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 催化剂 方法 | ||
1.一种组合物，包括0.5至100ppm的零价金属，稳定剂化合物和水；其中零价金属选自钯，银，钴，镍，金，铜和钌；其中的稳定剂化合物具有化学式
其中R＝H或(C1-C6)烷基；R1各自独立地选自H，(C1-C6)烷基和Z；Z＝C2-C6)烯基-Z1或(CR2R3)aZ1；R2和R3各自独立地选自H，羟基，(C1-C6)烷基，羟基(C1-C6)烷基，C(O)-(C1-C6)烷基，(C1-C6)烷基-C(O)-(C1-C6)烷基，CO2R4和NR5R6；R4＝H ，(C1-C6)烷基，羟基(C1-C6)烷基或(C1-C4)烷氧基(C1-C6)烷基；R5和R6各自独立地选自H，(C1-C6)烷基和(CR2R3)aZ2；Z1＝C(S)SH，CO2H，或C(O)NR5R6；Z2＝C(O)R4或CO2R4；和a＝0-6；其中至少一个R1是Z。
2.权利要求1的组合物，其中组合物的pH值为6-14。
3.权利要求2的组合物，其中pH值为7.5-14。
4.权利要求1的组合物，其中组合物在20℃储存3个月无沉淀析出。
5.权利要求1的组合物，其中零价金属和稳定剂化合物的摩尔比为1∶1至1∶20。
6.权利要求1的组合物，其中Z1＝CO2H。
7.一种方法，包括：
(a)提供具有多个通孔的基底；
(b)将权利要求1的组合物施加到通孔表面上；然后
(c)将金属化学镀到通孔表面上。
8.权利要求7的方法，还包括将第二种金属化学镀在步骤(c)化学镀的金属之上的步骤。
9.权利要求7的方法，还包括在步骤(b)之前，使通孔表面与氧化剂接触的步骤。
10.一种权利要求1的组合物的制备方法，包括将稳定剂化合物，水和水溶性金属盐混合，然后加入足够形成零价金属的量的还原剂。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
